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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC 愛發(fā)科 等離子用直流電源設(shè)備日本 ULVAC DC 系列等離子直流電源，兼具可靠性與高性能弧處理功能，采用強制風冷無需冷卻水，支持精密功率控制與高速 ARC 處理，適用于等離子清洗、蝕刻等半導體與真空工藝場景。
產(chǎn)品型號：DC系列 DC-2、DC-4廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-04-30訪 問 量：74
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ULVAC 愛發(fā)科 等離子用直流電源設(shè)備 ULVAC 愛發(fā)科 等離子用直流電源設(shè)備
輕量省空間設(shè)計：采用緊湊化結(jié)構(gòu)設(shè)計，節(jié)省安裝空間，便于設(shè)備集成與布局。
寬電壓規(guī)格可選：10/20kW 型號提供 800V 和 1000V 兩種輸出電壓規(guī)格，適配不同工藝需求。
精密等離子輸出控制：功率控制精度可達設(shè)定值的 ±1% 以下，可實現(xiàn)對等離子體的穩(wěn)定、精準輸出控制。
強制風冷設(shè)計：采用強制風冷冷卻方式，無需外接冷卻水，簡化系統(tǒng)配置，降低使用成本。
高速 ARC 處理功能：搭載高性能 ARC 功能與高速 ARC 處理電路，可快速響應并處理弧光放電，保障工藝穩(wěn)定性。
靈活的擴展能力：10/20kW 型號最多支持 12 臺并聯(lián)運行，總功率可達 240kW，滿足大規(guī)模工藝生產(chǎn)需求。
合規(guī)性認證：產(chǎn)品符合 CE、SEMI F47、RoHS 標準（DCS 及 400V 規(guī)格除外），適配半導體行業(yè)的規(guī)范要求。
| 項目 | DCS0052B | DC-2 | DC-4 |
|---|---|---|---|
| 輸入電壓 | 單相 AC100V/200V | 三相 AC200V/220V | 三相 AC200V/220V |
| 輸入容量 | 1kVA 以下 | 3.5kVA 以下 | 6.2kVA 以下 |
| 額定功率 | 500W | 2kW | 4kW |
| 額定電流 | 1.25A | 5A | 10A |
| 額定電壓 | 800V | 800V | 800V |
| 點火電壓 | 約 1100V | 1200V | 1200V |
| 控制精度 | 額定功率的 ±1% 以下 | 設(shè)定值的 ±1% 以下 | 設(shè)定值的 ±1% 以下 |
| 控制范圍 | 額定功率的 10-100% | 額定功率的 1-100% | 額定功率的 1-100% |
| 外部控制方式 | 模擬 / 數(shù)字 | 模擬 / 數(shù)字、RS232C/RS485 串行控制 | 模擬 / 數(shù)字、RS232C/RS485 串行控制 |
| 并聯(lián)運行 | 不支持 | 支持（10/20kW 型號） | 支持（10/20kW 型號） |
| 冷卻方式 | 強制風冷 | 強制風冷 | 強制風冷 |
半導體制造工藝中的等離子清洗、蝕刻設(shè)備
真空鍍膜設(shè)備的等離子輔助工藝
電子元件表面處理設(shè)備的等離子發(fā)生系統(tǒng)
各類需要穩(wěn)定直流等離子輸出的科研與工業(yè)實驗場景
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