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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC 愛發(fā)科 耐工藝型干式螺桿真空泵設(shè)備日本 ULVAC MS 系列是耐工藝型干式螺桿真空泵，在傳統(tǒng) LS 系列基礎(chǔ)上強化了耐腐蝕性與排粉能力，可處理腐蝕性氣體和含粉塵排氣，適用于半導體、鋰電、熱處理等高要求真空工藝場景。
產(chǎn)品型號：MS系列 MS120A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2026-04-30訪 問 量：92
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ULVAC 愛發(fā)科 耐工藝型干式螺桿真空泵設(shè)備 ULVAC 愛發(fā)科 耐工藝型干式螺桿真空泵設(shè)備
高耐腐蝕性設(shè)計：對轉(zhuǎn)子軸、氣缸等關(guān)鍵部件進行特殊表面處理，可適應(yīng)腐蝕性氣體的長期排氣需求，延長設(shè)備使用壽命。
優(yōu)異的排粉性能：采用 ULVAC 獨特的螺桿轉(zhuǎn)子軸設(shè)計，可高效排出工藝過程中產(chǎn)生的粉塵，避免泵腔堵塞，保障連續(xù)運行穩(wěn)定性。
全壓力范圍連續(xù)運行：支持從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍連續(xù)運行，無需復雜的啟?？刂?，適配各類工藝的連續(xù)生產(chǎn)需求。
多規(guī)格可選配置：提供 MS120A、MS600A、MS1200A 三種規(guī)格，排氣速度覆蓋 115~980m3/h，可根據(jù)不同工藝規(guī)模靈活選擇。
| 項目 | MS120A | MS600A | MS1200A |
|---|---|---|---|
| 最大排氣速度 | 115m3/h | 560m3/h | 980m3/h |
| 極限壓力 | ≤0.6Pa | ≤0.1Pa | ≤0.1Pa |
| 電源電壓 | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz | 三相 AC200-240V/380-480V，50/60Hz |
| 功耗 | 2.4kW | 3.1kW | 3.1kW |
| 冷卻水量 | >4.0L/min | >4.0L/min | >4.0L/min |
| 吹掃氣體量 | 0~50sccm | 0~50sccm | 0~50sccm |
| 最大水蒸氣處理量 | 1.5kg/h | 1.5kg/h | 1.5kg/h |
| 噪音值 | 61dB(A) | 62dB(A) | 64dB(A) |
| 吸氣口規(guī)格 | KF50/ISO-F-80 | ISO-F-80 | ISO-F-100 |
| 排氣口規(guī)格 | KF40 | KF40 | KF40 |
| 設(shè)備重量 | 139kg | 241kg | 264kg |
電子元件與半導體制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，如蝕刻、組裝、等離子清洗設(shè)備
真空熱處理爐的真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐
鋰離子電池制造設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥裝置、脫泡裝置、注液裝置
醫(yī)療與食品相關(guān)裝置的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥裝置、真空干燥裝置
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