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日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備日本 ULVAC CRYO-U10HSP 低溫高真空泵，采用低溫冷凝原理，對水、氫、氬等氣體具備高抽速，極限真空可達 10??Pa，適用于真空鍍膜、半導體工藝等高真空應用場景。
產品型號：CRYO-U10HSP廠商性質：經銷商更新時間：2026-04-30訪 問 量：74
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日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備 日本ULVAC 愛發(fā)科 低溫高真空泵設備
高抽氣性能：對水、氫、氬等多種氣體具備高效抽氣能力，抽速分別達 6900L/s、3600L/s、2000L/s，可快速建立高真空環(huán)境。
高極限真空能力：可實現 10??Pa（10??Torr）以下的極限真空，滿足對真空度要求嚴苛的工藝需求。
穩(wěn)定可靠的運行設計：配備 C15T 壓縮機單元，采用成熟的低溫泵技術，可長時間穩(wěn)定運行，保障工藝過程的連續(xù)性。
緊湊化結構設計：設備尺寸適配標準法蘭接口，進氣口采用 UVG-250 法蘭，便于與真空腔體集成安裝。
| 項目 | 參數 |
|---|---|
| 型號 | CRYO-U10HSP |
| 抽氣速度（20℃） | 氮：2400L/s；氫：3600L/s；氬：2000L/s；水：6900L/s |
| 極限真空 | 10??Pa（10??Torr） |
| 最大流量（氬氣） | 1.30×103 Pa·L/s（9.8 Torr·L/s） |
| 抽氣容量 | 氬氣：2.0×10? Pa?L；氫氣：1.2×10? Pa?L |
| 冷卻下降時間 | 120/110min（50/60Hz） |
| 進氣口法蘭 | UVG-250, 10" ANSI |
| 壓縮機單元 | C15T |
| 設備重量 | 36.0kg |
真空鍍膜設備的高真空系統(tǒng)配套
半導體制造工藝中的真空環(huán)境構建
表面分析儀器的真空腔體抽氣
科研實驗中的高真空環(huán)境制備
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