熱門(mén)搜索：日本物性測(cè)試儀、石川擂潰機(jī)、水泥水分計(jì)、脫氣消泡罐、粉體硬度計(jì)、日本食感試驗(yàn)機(jī)
深圳秋山工業(yè)設(shè)備有限公司 全國(guó)咨詢(xún)熱線：13823182047
PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品展示/ Product display
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備日本 ULVAC SG 系列是專(zhuān)為雙陰極濺射、等離子體 CVD 等工藝設(shè)計(jì)的 LF 等離子電源，可在 20kHz-100kHz 頻率范圍內(nèi)連續(xù)輸出額定功率，支持脈沖控制與多種外部通信方式，適配各類(lèi)等離子負(fù)載應(yīng)用。
產(chǎn)品型號(hào)：SG系列 SG-10-4廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2026-04-30訪 問(wèn) 量：85
立即咨詢(xún)
聯(lián)系電話(huà)：13823182047
ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備 ULVAC 愛(ài)發(fā)科 雙陰極兼容型等離子電源設(shè)備
寬頻率范圍輸出：可設(shè)置并輸出 20kHz 至 100kHz 的振蕩頻率，無(wú)需更改抽頭即可在規(guī)格范圍內(nèi)的輸出電壓范圍內(nèi)輸出，適配不同工藝的頻率需求。
脈沖輸出控制：支持脈沖輸出控制，可根據(jù)工藝需求靈活調(diào)整輸出模式，優(yōu)化等離子體穩(wěn)定性與工藝效果。
靈活的外部控制方式：標(biāo)準(zhǔn)配備外部模擬控制、控制器等控制功能，通過(guò)選配可支持 RS232C、RS485、EtherCAT 等多種控制方式，便于與自動(dòng)化系統(tǒng)集成。
高可靠性設(shè)計(jì)：專(zhuān)為等離子體負(fù)載優(yōu)化設(shè)計(jì)，兼具可靠性與穩(wěn)定性，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，保障工藝連續(xù)性。
| 項(xiàng)目 | 參數(shù) |
|---|---|
| 輸入電壓 | 三相 AC380-440V |
| 輸入容量 | 13.2kVA 以下 |
| 最大額定功率 | 10kW |
| 額定電流 | 32A |
| 額定電壓 | 1000Vrms |
| 振蕩頻率 | 20k-100kHz |
| 控制精度 | ±100W |
| 控制保證范圍 | 額定功率值的 10-100%（電壓 30V 以上、電流 1.5A 以上） |
| 外部控制方式 | 模擬 / 數(shù)字、RS232C/RS485（選配）、EtherCAT（選配） |
| 冷卻方式 | 水冷，7L/min 以上 |
| 外形尺寸（W×D×H） | 483×500×177mm |
| 設(shè)備重量 | 40kg |
雙陰極濺射工藝的等離子發(fā)生系統(tǒng)
等離子體 CVD 工藝的電源配套設(shè)備
各類(lèi)需要寬頻率范圍等離子輸出的半導(dǎo)體與真空工藝場(chǎng)景
科研實(shí)驗(yàn)中需靈活控制頻率與功率的等離子體發(fā)生裝置
郵箱：akiyama_zhou@163.com
傳真：
地址：廣東省深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路8號(hào)和健云谷2棟10層1002
您的位置：
