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PRODUCT CLASSIFICATION
產(chǎn)品分類(lèi)產(chǎn)品展示/ Product display
納米計(jì)量技術(shù) AIST 低殘膜均一性壓印設(shè)備ImpFlex-Essential 納米壓印機(jī)，基于日本產(chǎn)綜研 AIST 技術(shù)開(kāi)發(fā)，搭載低殘膜、高均一性壓印引擎，性?xún)r(jià)比突出。支持多品種模具與新型 LED UV 照射，適配氣泡消除氣體工藝，結(jié)構(gòu)緊湊可擴(kuò)展，是微納加工與半導(dǎo)體研發(fā)的理想設(shè)備。
產(chǎn)品型號(hào)：ImpFlex-Essential廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2026-03-28訪 問(wèn) 量：117
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高性?xún)r(jià)比壓印引擎：搭載與 ImpFlex 共通的壓印引擎，實(shí)現(xiàn)低殘膜與優(yōu)異膜厚均一性，同時(shí)通過(guò)精簡(jiǎn)配置大幅降低價(jià)格。
靈活可擴(kuò)展設(shè)計(jì)：以最小必要構(gòu)成為基礎(chǔ)，可通過(guò)豐富選項(xiàng)實(shí)現(xiàn)功能升級(jí)，適配多品種模具與多樣化工藝需求。
新型 UV 照射系統(tǒng)：配備新開(kāi)發(fā)的 LED 光源進(jìn)行 UV 照射，能耗更低、壽命更長(zhǎng)，保障圖案固化精度。
氣泡消除工藝適配：支持氣泡消除氣體工藝，可在大氣或可控氣體環(huán)境下完成壓印，提升圖案質(zhì)量與良率。
便捷操作與穩(wěn)定結(jié)構(gòu)：配備觸控式操作面板，機(jī)身緊湊穩(wěn)固，搭載 Flexible Thruster 柔性推力機(jī)構(gòu)，確保壓印過(guò)程均勻穩(wěn)定。
半導(dǎo)體器件、MEMS 器件的微納結(jié)構(gòu)壓印制備
新型光學(xué)器件、LED / 光子晶體的圖案化工藝
柔性電子、生物芯片等領(lǐng)域的微納結(jié)構(gòu)制造
納米壓印材料與工藝的基礎(chǔ)研究與小批量試制
納米計(jì)量技術(shù) AIST 低殘膜均一性壓印設(shè)備 納米計(jì)量技術(shù) AIST 低殘膜均一性壓印設(shè)備
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