日本NSK 高精度測量顯微鏡光切斷測定儀器

日本NSK 高精度測量顯微鏡光切斷測定儀器日商精密光學 KY-90 光切斷測定機，采用光切斷法實現非接觸式高精度測量。搭載正立像光學系統，綜合倍率 100×，Z 軸精度 1μm，XY 平臺支持 50×50mm 行程，可承載大型試樣。設備結構穩(wěn)定、照明均勻，廣泛用于精密制造、半導體等領域的微小形貌檢測。

產品型號：KY-90
廠商性質：經銷商
更新時間：2026-03-28
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詳細介紹

產品細節(jié)與外觀

這款儀器由日商精密光學株式會社打造，整機采用低重心穩(wěn)定平型底座設計，結構緊湊且抗震性優(yōu)異。光學系統搭載正立像 10× 接眼鏡（單眼 / 雙眼可選），搭配多級對焦機構（粗動 100mm、中粗動 20mm、微動 2.0mm），操作精準流暢。XY 軸移動平臺支持 50×50mm 行程，可承載大型試樣，同時配備 TV 相機 / 監(jiān)視器或偏振光相機等觀測模塊，滿足不同可視化需求。

? 核心性能優(yōu)勢

依托光切斷法實現非接觸式高精度測量，通過投射狹縫與基準狹縫的配合，清晰呈現被測物表面斷面形貌。標準配置下綜合倍率 100×，可選 5×/15×/20× 物鏡；Z 軸測量精度達 1μm，XY 軸可擴展至 1μm 數字讀數，支持三維測量。照明系統采用鹵素燈與光纖組合，光照均勻穩(wěn)定，適合長時間高精度測量作業(yè)。

??? 材質與工藝

機身采用高強度合金鑄造，保證長期使用的結構穩(wěn)定性；光學鏡頭選用高透光率玻璃并經多層鍍膜處理，提升成像清晰度；投射狹縫采用高精度蝕刻工藝，標準為 10μm，可選 3μm/30μm/80μm 及半透半反鏡型；XY 平臺配備精密絲杠與導向機構，確保移動平滑無背隙，維持長期測量精度。

?? 技術參數

光學系統：正立像，10× 接眼鏡 45° 傾斜（單眼 / 雙眼可選），綜合倍率 100×，物鏡可選 5×/15×/20×
狹縫系統：基準狹縫為平行 2 本線，可選中心鏤空十字 / 刻度目盛；投射狹縫標準 10μm，可選 3μm/30μm/80μm
對焦機構：粗動 100mm、中粗動 20mm、微動 2.0mm 三級調節(jié)
XY 平臺：50×50mm 移動行程，顯微計 10μm 讀數，數字 1μm 讀數
Z 軸測量：Z 軸數字 gauge，1μm 讀數，支持三維測量與 XYZ 軸計數器
照明：鹵素燈照明 3 口 + 光纖 3 根，光照穩(wěn)定均勻
TV 裝置：1/2 英寸黑白相機 + 9 英寸黑白監(jiān)視器（KY-90-TV），或偏振光相機（KY-90-P）

?? 應用場景

廣泛應用于精密制造、半導體、電子、材料檢測等領域，可測量芯片封裝臺階、PCB 線路深度、模具表面差、薄膜厚度、陶瓷 / 玻璃裂紋等微小形貌，也適用于科研機構的材料表面分析與質量管控。

?? 包裝與使用說明

儀器采用定制防震木箱包裝，內部填充緩沖材料保護光學組件。開箱后需由專業(yè)工程師完成水平校準、光路調試與精度驗證。操作時將樣品置于 XY 平臺，通過接眼鏡或監(jiān)視器觀察狹縫像，對準測量點后讀取 Z 軸數值；可切換不同狹縫與照明模式，適配多樣測量需求。日常需避免灰塵與震動，定期清潔光學鏡頭。

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