日本DAIHEN 帶脈沖功能高頻電源設(shè)備 日本DAIHEN 帶脈沖功能高頻電源設(shè)備

產(chǎn)品概述

核心特點(diǎn)

• 脈沖輸出功能：搭載脈沖功能，脈沖頻率范圍為 1Hz~20kHz（1 級(jí)），可適配不同工藝對(duì)脈沖波形的需求，提升工藝靈活性。

• 整合器全功能支持：支持包括整合器在內(nèi)的完整功能，可與自動(dòng)匹配器等設(shè)備協(xié)同工作，優(yōu)化負(fù)載匹配性能，保障輸出穩(wěn)定性。

• 寬功率覆蓋：功率型號(hào)覆蓋 500W、1kW、3kW、5kW 及更高功率型號(hào)，可應(yīng)對(duì)工藝的高功率化需求，適配不同規(guī)模的等離子體工藝場景。

• 穩(wěn)定輸出性能：輸出安定度為 ±1% 或 ±3W（取較大值），輸出穩(wěn)定可靠，保障工藝過程的一致性與重復(fù)性。

• 高效冷卻設(shè)計(jì)：采用強(qiáng)制空冷 + 水冷方式，可有效控制設(shè)備運(yùn)行溫度，保障設(shè)備長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行，適配連續(xù)生產(chǎn)場景。

核心參數(shù)

應(yīng)用場景

• 等離子清洗、等離子刻蝕、等離子沉積等半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套電源

• 材料表面改性、鍍膜、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）等工藝場景

• 工業(yè)等離子體處理設(shè)備的電源供應(yīng)，適配不同功率等級(jí)的工藝需求

• 科研實(shí)驗(yàn)室等離子體發(fā)生裝置的穩(wěn)定電源，支持脈沖與連續(xù)輸出模式