一、產(chǎn)品細(xì)節(jié)展示
本款清洗設(shè)備整體采用緊湊型模塊化機身設(shè)計，機身線條利落、布局規(guī)整，無多余冗余結(jié)構(gòu)，貼合半導(dǎo)體車間精密作業(yè)空間需求。設(shè)備各功能單元分區(qū)明確，藥液清洗、純水刷洗、溫水干燥三大模塊獨立排布又可無縫銜接，內(nèi)部管路排布規(guī)整，杜絕管路纏繞、滲漏隱患；操作區(qū)域面板簡潔直觀，按鍵與顯示屏布局合理，日常操控?zé)o需復(fù)雜調(diào)試，上手便捷。設(shè)備開合、對接部位做工精細(xì)，縫隙均勻密閉，能有效阻隔外界粉塵、雜質(zhì)進入，避免清洗過程中產(chǎn)生二次污染，細(xì)節(jié)處充分貼合半導(dǎo)體行業(yè)高潔凈作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，機身各處接口、卡槽適配性強，模塊拆裝、維護無需專業(yè)工具，日常檢修更省心。
二、產(chǎn)品核心性能
設(shè)備主打高精度潔凈清洗性能，專為半導(dǎo)體、晶圓等精密工件研發(fā)，清洗潔凈度高，可去除工件表面殘留雜質(zhì)、油污、細(xì)微顆粒，滿足半導(dǎo)體行業(yè)嚴(yán)苛的潔凈加工要求。三大功能模塊可獨立運行也可聯(lián)動作業(yè)，清洗流程可按需靈活調(diào)控，運行過程穩(wěn)定無震動，不會對精密晶圓、電子部件造成劃傷、磕碰損傷。設(shè)備運行效率出眾，單次清洗耗時短，能大幅提升車間作業(yè)產(chǎn)能，同時能耗控制優(yōu)異，無多余能源損耗；運行噪音低，適配車間長時間連續(xù)作業(yè)場景，且防污染、防藥液揮發(fā)能力突出，既能保障作業(yè)環(huán)境潔凈，也能延長設(shè)備整體使用壽命，長期運行性能穩(wěn)定，故障率極低。
三、產(chǎn)品用材優(yōu)勢
整機選用適配半導(dǎo)體行業(yè)的高品質(zhì)專用材質(zhì)打造，機身主體采用耐腐蝕、抗老化的加厚工業(yè)材質(zhì)，無懼各類清洗藥液侵蝕，長期使用不易變形、生銹、開裂，結(jié)構(gòu)穩(wěn)固性。內(nèi)部清洗槽、管路、接觸工件的核心部件，均選用耐酸堿、防刮耐磨、無析出的食品級工業(yè)材質(zhì)，不會與清洗藥液、工件材質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，杜絕材質(zhì)殘留污染精密工件，同時具備優(yōu)異的耐高溫、耐低溫性能，適配不同溫度的清洗工藝需求。設(shè)備密封部件選用高彈性、高密封性專用密封材質(zhì)，防滲、防塵、防揮發(fā)效果拉滿，保障清洗作業(yè)的安全性與潔凈度，整體用材兼顧耐用性與專業(yè)性，貼合精密儀器使用標(biāo)準(zhǔn)。
四、產(chǎn)品核心參數(shù)
設(shè)備整體適配工業(yè)常規(guī)用電規(guī)格，支持定制化電源適配，滿足國內(nèi)外車間用電需求；單模塊尺寸貼合緊湊型車間布局，整機占用空間小，搬運、擺放靈活。清洗槽容量貼合常規(guī)半導(dǎo)體工件規(guī)格，可適配多數(shù)晶圓、精密電子部件清洗；溫控范圍精準(zhǔn)可調(diào)，能根據(jù)不同清洗工藝、藥液需求靈活設(shè)定溫度，溫控誤差極小，保障清洗效果均勻穩(wěn)定。藥液循環(huán)、純水溢流速率可控，干燥升溫速率均勻，工件脫水無水印、無殘留；整機運行功率適中，能耗偏低，進水、排水接口適配常規(guī)工業(yè)管路，安裝對接無需額外改造管路，各項參數(shù)均貼合半導(dǎo)體行業(yè)通用作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可直接投入車間使用。
五、產(chǎn)品型號劃分
本系列設(shè)備分為三大獨立單元型號以及組合整機型號，可按需自由選購。其中EC-chemical為專用藥液清洗單元，主打藥液浸泡、沖洗除雜；EC-scrub為純水刷洗清洗單元，依托專用刷頭實現(xiàn)精細(xì)化物理清洗；EC-dry為溫水提升干燥單元，負(fù)責(zé)工件后續(xù)脫水干燥；除此之外還有三款單元一體化組合整機型號，無需自行拼接，到手即可聯(lián)動使用，滿足一站式清洗、刷洗、干燥全流程作業(yè)，各類型號均標(biāo)注清晰，可根據(jù)車間工藝、作業(yè)量、工件類型靈活選擇，支持小范圍定制化型號調(diào)整。
六、產(chǎn)品適用范圍
本品為半導(dǎo)體行業(yè)專用清洗設(shè)備，核心適用于半導(dǎo)體晶圓、精密電子零部件、光學(xué)元件的精細(xì)化清洗作業(yè)，同時也可適配太陽能電池板、各類精密電子元器件、小型精密五金件的潔凈清洗，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造廠、精密電子加工廠、科研機構(gòu)精密器件實驗室、光學(xué)元件加工車間等場景。不管是批量工件常規(guī)清洗，還是小批量高精度工件精細(xì)化處理，均可輕松適配，能滿足各類對潔凈度有嚴(yán)苛要求的精密工件清洗需求，適用場景寬泛。
產(chǎn)品型號：EC系列/ EC-scrub / EC-dry
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